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薄膜電阻應變式壓力傳感器的研發與發展趨勢

2018-12-12 1486次瀏覽 來源:網絡

薄膜電阻應變式壓力傳感器的研發與發展趨勢

應變片式壓力傳感器(工作原理)是基于電阻應變效應原理工作的。應變片式壓力傳感器是電阻式壓力傳感器的一種,其通過粘結在彈性元件上的應變片的阻值變化來測量壓力值的。用于力、扭矩。、張力、位移、轉角、速度、加速度和振幅等測量。

電阻應變式壓力傳感器所運用的基本原理是電阻的應變效應:導體受機械變形時,其電阻值發生變化,稱為“應變效應”


基于應變片式壓力傳感器工作原理采用鍍膜、光刻技術,以石英、Al2O3陶瓷為基底,蒸鍍金屬薄膜并將其制成電阻應變式壓力傳感器敏感柵。在0~0.6MPa壓力范圍內進行相關性能測試。

結果表明:所得傳感器均能在此負載范圍內正常工作,薄膜電阻應變式壓力傳感器與傳統壓力傳感器相比,具有應力應變線性度好、重復性好、回差小、蠕變小等優點。另外,由于它們還具有耐高溫、耐腐蝕的特點而在工業、生產領域有相當高的實用價值。


人類邁入21世紀,信息處理技術、微處理器和計算機技術的快速發展和*應用,都需要在傳感器的開發方面有相應的進展。隨著現代科學技術的進步,非電物理量的測試與控制技術,已越來越*地應用于航天、航空、常規武器、船舶、交通運輸、冶金、機械制造、化工、輕工、生物醫學工程、自動檢測與計量、稱重等技術領域,而且也正在逐步引入人們的日常生活中??梢哉f測試技術與自動控制技術水平的高低,是衡量一個*科學技術現代化程度的重要標志。傳感器是信息采集系統的感應單元,所以,它是自動化系統和控制設備的關鍵部件,作為系統中的一個結構組成,在科技、生產自動化領域中的作用越來越重要。


傳感器亦稱換能器,是將各種非電量(包括物理量,化學量,生物學量等)按一定的規律轉換成便于處理和傳輸的另外一種物理量(一般為電量、磁量等)的裝置,它能把某種形式的能量轉換成另一種形式的能量。傳感器一般由敏感元件、傳感元件和測量電路3部分組成,有時還需加上輔助電源。


國際電工委員會IEC(International electrotechnical committee)則將傳感器定義為測量系統中的一種前置部件,它將輸入變量轉換成可供測量的信號。傳感器是傳感器系統的一個組成部分,是被測量信號輸入的*道關口。對傳感器在技術方面有一定的要求,比如:高靈敏度、高穩定性 、線性度好、遲滯小、可重復、低成本、小尺寸、重量輕和強度高等等,而同時亦要考慮盡可能低的零點漂移、溫度漂移及蠕變等。近年來,傳感器有向小型化、集成化、智能化、系列化 、標準化方向發展的趨勢。



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